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第一百七十六章:国产DUV光源(2/3)

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光掩膜台上面放的测试用的光掩膜,之后经过物镜投射到曝光台。

曝光台上放置着一张8英寸晶圆片,上面涂抹了光刻胶。

半个小时后……当然芯片不是这么一点时间就可以做出来的,但是其工作状态和试运行成果却是能判断的。

“这,这,这……”

“这居然是真的,国产DUV光源?我不是在做梦吧,老赵。”

“纯净度极为优秀”

刚刚还有些负气的年轻工程师此刻看着工作间里面的光刻机,嘴巴不自觉张大,眼神有些涣散。

李由作为一个有家室的中年人,很是照顾后辈。

他走到这人身旁,拍了拍他的肩膀。

“回回神,这才刚开始。”

“啊?啊?什么开始?你们可以把这个光源卖给我们吗?现在就可以用我们国产的光源了吗?”

这位青年工程师有些语无伦次,其他研发人员和工程师亦是如此。

整个实验室和光刻机工作间的人都震惊了。

大夏企业自己的光源设备!

他们等这一天多久了?

有浦东微电子的老工程师不自觉擦起了眼泪。

男儿有泪不轻弹,只是未到伤心处。

这群投身国产半导体行业的老人们更是感触颇深。

他们当年搞这个的时候……

“造不如买、造出垃圾来卖得又贵,国产不好用。

国产毛病多,你们别做了,还是买德国的光源吧!

搞个光刻机净坑自己人!”

一句句往日刁钻刻薄的话此刻在耳边回响,再看看现在那台光刻机。

“终于有好光源了。”

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